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IC & FPD 用設備
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APPLICS-O3DIW、H2DIW濃度計、O3分解器
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CAT-SPIN DRYER
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DAN TAKUMA- Micro Bubble system
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EBARA-O3 GAS/DIW濃度計
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ICM(IMAI)- Cleaner & Oven for FPD
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ISHIMORI- 放電式O3 Gas & O3DIW Generator
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KURABO 濃度計、水分計
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ORION- T/H Controller 、Chiller、電子式 Heat Exchanger
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TAZMO- 磷酸之控溫、再生系統、Single wafer Cleaner
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TMEIC- MCZ( Superconducting Magnet)
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KAIJO- 超音波、音壓計
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USHIO- UV Cure、 Charge Eraser
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