MFC流量計是被廣泛應用在工業及製造業的精密測量儀器，本文將說明MFC原理與結構，帶你了解使用MFC的優點，並解答安裝MFC的常見問題，最後推薦精確的MFC質量流量控制器專業設備廠商「霖豐」。
一、MFC 流量計是什麼？質量流量控制器 MFC 原理介紹
（一）MFC 是什麼？穩定監控氣體流量的重要工業設備
MFC，全名為 Mass Flow Controller，中文稱為「質量流量控制器」，它可以精準測量氣體或液體在單位時間內通過管道的有效截面流量，更能主動控制流量，讓氣體或液體的流速不會受到環境條件或大氣壓力影響，能夠維持在穩定數值。
（二）MFC 如何控制流量？MFC 原理結構說明
認識 MFC 工作原理前，我們先來介紹 MFC 質量流量控制器的組成部件，分別是「質流感應器（Sensor）」、「分流器（Bypass）」、「控制閥組（Control Valve）」和「閉迴路控制電路板（PCB）」。
在正常管線外接上 MFC 流量計後，管線內的氣體或液體會被引導一部份流經 MFC 的分流器中，在分流器內設有溫差感應器，會換算經過氣體的質量流量，並將偵測到的數據轉化為電路可識別的訊號，傳送到控制器。
此時，控制器會根據傳送回來的訊號，比對控制器設定的數據，調節流量控制閥組，讓氣體或液體可以保持穩定的流量輸送。
此時，控制器會根據傳送回來的訊號，比對控制器設定的數據，調節流量控制閥組，讓氣體或液體可以保持穩定的流量輸送。
二、為何需使用 MFC？4 大質量流量控制器優點介紹
MFC 在工業、製造等產業有著廣泛的應用，其精準度和穩定性讓他成為製造或研究過程中不可或缺的控制系統，以下將說明 MFC 的 4 大優點：
（一）不受溫度或壓力影響，確保數值正確性
MFC 直接測量的是流體的質量流量，而非體積流量。當氣體或液體遇到溫度壓力變化導致體積改變時，也不會對於質量流量造成影響，因此 MFC 可以避免因環境或其他外在因素導致的測量誤差。
相較於傳統的體積流量計，MFC 提供更精確的測量數據，適用需要精準控制各種原料的情境，例如半導體製程、科學研究等。
相較於傳統的體積流量計，MFC 提供更精確的測量數據，適用需要精準控制各種原料的情境，例如半導體製程、科學研究等。
（二）可以精準測量與記錄流量
MFC 具備控制系統，可以將偵測到的數據轉化為電路訊號，透過 RS-232 或 RS-485 等不同資料通訊介面，將數據傳送至電腦裝置中，在電腦裝置中就可以自動測量與記錄流量數據。
（三）根據使用需求設定，自動調節流量
在 MFC 的控制系統中，可以設定所需的氣體或液體流量數值，MFC 就會自動偵測當前管線中的質量流量，並根據設定調節閥門，讓管線中的流量保持和設定一致。
（四）應用範圍廣泛，適用多種氣液體監測
不論是氣體、液體或者多種介質混合在一起的流體，或是具備腐蝕性、特殊化學性的氣液體，都能透過 MFC 測量，可以根據企業需求挑選合適的 MFC 質量流量控制器。
三、想知道企業是否適合導入MFC？MFC 常見問題釋疑
Q1：為什麼 MFC 出入口需要保持一定的壓力差？
MFC 內部用於調節流量的門閥是透過壓力差來控制，因此 MFC 出入口必須具備一定的壓力差，才能讓控制閥組正常運作，幫助調節並維持流量穩定。
若壓力差過大或過小，都有可能會造成 MFC 的測量與調節不夠精確，進而導致製程出現問題或產品品質不佳等狀況。
每款 MFC 都有標示推薦的壓力差，同時也須考量流體黏度、密度等特性，以及管道的長短、管徑、彎曲等，都會造成影響壓力差與 MFC 安裝位置。因此，安裝 MFC 建議交由具備專業知識的廠商，經過規劃計算後，確保壓力差穩定，才能讓 MFC 正常運作。
若壓力差過大或過小，都有可能會造成 MFC 的測量與調節不夠精確，進而導致製程出現問題或產品品質不佳等狀況。
每款 MFC 都有標示推薦的壓力差，同時也須考量流體黏度、密度等特性，以及管道的長短、管徑、彎曲等，都會造成影響壓力差與 MFC 安裝位置。因此，安裝 MFC 建議交由具備專業知識的廠商，經過規劃計算後，確保壓力差穩定，才能讓 MFC 正常運作。
Q2：MFC 可以控制具有腐蝕性、刺激性或特殊化學性流體嗎？
可以，不過必須依照流體的化學特性，挑選 MFC 的材質，包含內部分流器、質流感應器等都需選擇耐腐蝕材質，例如特殊橡膠或合金等。
在評估 MFC 安裝時，一定要向設備廠商提供詳細的流體資訊，包括流體種類、純度、流量、壓力、溫度等，才能讓廠商提供您最專業、合適的 MFC 質量流量控制器。
在評估 MFC 安裝時，一定要向設備廠商提供詳細的流體資訊，包括流體種類、純度、流量、壓力、溫度等，才能讓廠商提供您最專業、合適的 MFC 質量流量控制器。
Q3：安裝與使用 MFC 如何避免腐蝕性、刺激性或特殊化學性流體散逸？
除了在選購 MFC 時挑選耐腐蝕的材質外，在安裝 MFC 時要留意管路密封性，並留意管線佈局，防止流體在管線內滯留、堆積，也可以加裝偵測裝置與通風系統，監測氣體濃度，同時也確保洩漏的氣體可以迅速排出。
此外，也要定期安排 MFC 檢測，零組件若有受到侵蝕損壞也可以即時更新，確保 MFC 能穩定運行。
此外，也要定期安排 MFC 檢測，零組件若有受到侵蝕損壞也可以即時更新，確保 MFC 能穩定運行。
Q4：揮發性液體的蒸氣氣壓很低，MFC 也能測量與控制嗎？
可以，揮發性液體的蒸氣也屬於一種氣體，因此在理論上是可以被測量控制的。不過，還是需留意 MFC 的規格、適用壓力範圍及靈敏度，確保在低氣壓狀態下也能正常測量、控制。
Q5：不同流體可以使用同一個 MFC 進行測量與控制嗎？
因為由於不同流體間的密度、黏度等物理性質差異較大，會影響質流感應器偵測流速時的數據計算與轉換，若交換使用會導致 MFC 測量精準度降低。
且若流體具有腐蝕、沉積、易燃等化學特性，在交換使用 NFC 時與其他流體混合，可能會產生化學反應，造成工安危險，因此通常不建議使用同一個 MFC 測量和監控不同的流體。
且若流體具有腐蝕、沉積、易燃等化學特性，在交換使用 NFC 時與其他流體混合，可能會產生化學反應，造成工安危險，因此通常不建議使用同一個 MFC 測量和監控不同的流體。
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四、MFC 質量流量控制器推薦廠商｜霖豐 LINTEC MFC
LINTEC 是來自日本的 MFC 質量流量控制器製造商，提供精準控制的 MFC 流量計供半導體 IC 及液晶面板製造產業使用。
LINTEC 的 MFC 流量計採用獨家研發的流體控制技術， 為市場帶來定溫度差流量控制感應器、防腐蝕的強酸用感應器、液體氣化供給系統等產品。
霖豐代理日本 LINTEC 的 MFC 質量流量控制器，與日本原廠學習並進行技術轉移，具備相關安裝、維修與保養知識，從 MFC 裝設評估到售後維修保養，提供全方面的一條龍服務。
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