CAT-SPIN DRYER

产品功能

水平式spin dryer，利用离心力旋乾wafer

特点

• 4~12吋wafer可旋乾对应
• 1~4个cassette皆可对应
• Auto balance功能--可同时旋乾不同片数wafer
• 可同时旋乾不同尺寸wafer